首页 >> 净化工程 >> 洁净室标准 >> 洁净室标准

 

洁净室标准规格说明(一) 
  目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准209为多,今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

洁净室等级(Class)

微尘粒子 压力 温度 风速与换气率(次/hr) 照度lux
粒子大小um 粒子数目Particles/ft3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 误差%

层流方式0.35~0.55 m/s

1080

~

1620

1 ≧0.5 ≦1
>1.3
19.4~25
22.2 ±2.8

 

±1.4

45 30 ±10

 

±5

≧5.0 0
10 ≧0.5 ≦10
≧5.0 0
100 ≧0.5 ≦100
≧5.0 ≦1
1000 ≧0.5 ≦1000
乱流方式≧20 次/hr
≧5.0 ≦10
10000 ≧0.5 ≦10000
≧5.0 ≦65
100000 ≧0.5 ≦100000
≧5.0 ≦700
  至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出,读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

洁净度等级

微尘粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

单位

单位

单位

单位

单位

公制

英制

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

 

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

 

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

 

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

 

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

 

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

  美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m3)。其Class1,Class2...之数目字以0.1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得。

表1-3 日本JIS(9920 ~1989)标准

粒径级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2,360 23,600 - - -
0.3 1 10 101 1,010 10,100 101,000 1,010,000 10,100,000
0.5 - - 35 350 3,500 35,000 350,000 3,500,000
5.0 - - - - 29 290 2,900 29,000

 

资料来源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

 

 

 

洁净室标准规格说明(二)
  在德国工业及医学等之多数领域中,洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术,因此在1967年完成了德国的洁净室规格,在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数,而以其中之指数n规定等级,如4*103 即表示等级为3,此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

表1-4 德国规格表

等级 微尘粒径(um) 与别国等级比较
0.5 1 5 美国 法国
3 4*103 1*103 - 100 4000
4 4*104 1*104 0.03*104 - -
5 4*105 1*105 0.03*105 10000 400000
6 4*106 1*106 0.03*106 100000 4000000

表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值(个/ft3)(以0.5u粒子为依准)。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同,为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级,以期运用于工作上,故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算,如表1-6

表1-5 美国209D规定粒子数(上限值)

等级 Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10,000 Class100,000
0.1 35(1,225) 350(12,250 - - - -
0.2 7.5(263) 75(2,630) 750(26,300) - - -
0.3 3(105) 30(1,050) 300(10,500) - - -
0.5 1(35) 10(350) 100(3,500) 1000(35,000) 10,000(350,000) 100,000(3,500,000)
5.0 - - - 7 70 700
*()内之数值单位:个/M3

表1-6 美日洁净度级别换算

日本 美国
级别3 Class 1
级别4 Class 10
级别5 Class 100
级别6 Class 1000
级别7 Class 10000
级别8 Class 100000

  除了美国、日本、德国、之洁净室标准外,世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格,表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

表1-6 世界各国洁净度等级规格表

国名 美国 美国 日本 英国 德国 法国 澳洲 韩国 中国大陆
规格 FS209D FS209E JIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 AFN 4410 AS 1386 KS QJ2214
年度 1988 1992 1989 1989 1990 1981 1989 1991 1991
基准粒子(um) 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.5 0.5 0.3 0.1 0.5
单位 pcs/ft3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3
Class - - 1 - - - - M1 0.1um ~1
- M1 2 - 0 - - M10 0.1um ~5
1 M1.5 3 C 1 - 0.035 M100 0.1um ~10
10 M2.5 4 D 2 - 0.35 M1000 1
100 M3.5 5 E or F 3 4,000 3.5 M10000 100
1000 M4.5 6 G or H 4 - 35 M100,000 1,000
10,000 M5.5 7 I 5 400,000 350 M1,000,000 10,000
100,000 M6.5 8 J 6 4,000,000 3500 M10,000,000 100,000
- M7 - K 7 - - - -
- - - L - - - - -
*以0.5um为区别。

 

资料来源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

无尘室设计专家

 

先进的无尘室设计理念!

 

荣获国内洁净室设计会员单位肯定!

 

建造无尘室工程服务承诺!

Copyright @ 1996-2011 上海台旭净化设备有限公司 沪ICP备09000131号 E-mail:sales@taixu-filter.com
Tel:+86-21-67649008 67649068 Fax:+86-21-67649088 厂址:中国上海市松江区九亭镇久富经济开发区潮富路28号(原得心路239号)